Процес јеткања метала

Један од кључних корака у интегрисаном кругу израде је уклањање танких филмског слоја који није прекривен отпорном и прибавите узорак на танком филму који је потпуно у складу са филмом одоле .
У производном процесу интегрисаних кола, низ финих операција као што су усклађивање маске, изложеност и развој, да тачно понови жељени образац на филму одолевања, а одолено, додатно, високе прецизне електронске греде се такође могу директно користити за цртање жељеног узорка на репродуктивном узору на филму одоздо. .
Након завршетка овог корака, узорак се одмах преноси на диелектрични танки филм (као што је силицијум оксид, силицијум нитрид, поликристални силицијум) или метални танки филм (попут алуминијума и њених легура) испод репоновања изузетно високим прецизним прецизношћу, стварајући тин темељни узорак на танкослојним слојем који је у потпуности у потпуности у потпуности у потпуности у складу са танким слојем.

Процес за едужење игра пресудну улогу у овом процесу, селективно уклањајући незаштићени танки филмски слој хемијским, физичким или комбинацијом обе методе, формирајући образац на танком филму који је идентичан оно што је одоздо на филму о одоли филму .Језгро јетњих технологија лежи у својој селективности, односно само уклањање делова који нису прекривени отпорнима, задржавајући делове заштићене од стране одупру .
Технологија јеткања углавном је подељена у две врсте: суво јетко и мокро иседање .Суво јетковање углавном користи реактивне гасове и плазму за уништавање, док влажно јеткање углавном постиже исецање хемијских реакција између хемијских реакција и материјала који је урезан, обично у течном окружењу, користећи хемијска решења за селективно уклањање танких филмских материјала .
Ова два метода јеткања имају своје сопствене предности и недостатке . у практичним апликацијама, они би требали бити изабрани и оптимизовани према специфичним потребама како би се осигурало да је добијен коначни танки слој који се добије у обзир услове дизајна .