Карактеристике идеалних процеса

Идеалан процес јеткања требало би да има следеће кључне карактеристике за испуњавање високо прецизних захтева за производњу полуводичких производа и других поља за обраду микро нано:

① Анисотропиц Етовање, што значи само вертикално јеткање без бочног бушења . само на овај начин, можемо осигурати прецизну репликацију геометријских облика идентичних онима који се одупиру на решетким филму;
② добра селективност јеткања значи да је стопатка отпора који се користи као маска и темељни танки филм или материјал много нижи од оног укиданог танког филма, како би се осигурала ефикасност маскирања одоле током процеса јеткања и спречи оштећење на друге материјале испод танког филма;
③ Велике серије за прераду, једноставна контрола, ниска цена, минимално загађење животне средине, погодно за индустријску производњу .